所属领域：新一代信息技术

成果形式：发明专利

成熟度：研发阶段

转化方式：技术转让

联系人：张登英

成果简介：该成果通过改变软模板拉伸量，可得到不同周期尺寸的光栅结构，装置操作 简单，使用方便，能够满足低成本、批量复制不同周期尺寸光栅的要求。