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一种制备周期减半的亚微米光栅的方法 2025年06月16日 15:43 浏览量:[]次

所属领域:新一代信息技术

成果形式:发明专利

成熟度 :研发阶段

转化方式:技术转让

联系人 :张登英

成果简介:该成果涉及光学、微细加工、先进制造等领域,它解决了现有的光栅复制技 术只能进行1:1光栅复制的问题,利用一块亚微米母光栅制备出了周期减半的亚微米子光栅。


上一条:一种制备不同周期光栅的装置及其使用方法 下一条:一种利用单通道PDMS诱导模板制备微流控芯片上双通道结构的方法

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