所属领域：新一代信息技术

成果形式：发明专利

成熟度：研发阶段

转化方式：技术转让

联系人：张登英

成果简介： 该成果采用光刻技术和热回流技术制作微米尺寸的微通道母版，并利用此母 板制作PDMS柔性模板，获得的柔性模板具有与微通道母版互补的图案结构，将PDMS柔性模 板紧密粘附在基片表面形成微通道空腔，并在一侧滴注S1813光刻胶，光刻胶在毛细力的作用 下填充微通道空腔，填充较长时间后进行加热，微腔内的光刻胶发生回流，而与微腔内壁相 接触的光刻胶将附着在内壁上，冷却固化并揭掉PDMS柔性模板后，就在基片表面上得到了 中空微通道结构。适用于微细加工、微流控芯片、生物医药等应用领域。