所属领域：新一代信息技术产业

成果形式：发明专利

成熟度：研发阶段

转化方式：技术转让

联系人： 张登英

成果简介：该成果将PDMS软模板有微纳结构的一面朝外固定好，通过控制主腔体内气 压的大小和主腔体的固定高度，使PDMS软模板与涂有固化胶的球面基底实现紧密接触，然 后通过加热板固化胶体，待胶体固化后将球面基底与PDMS软模板分离，此时便在球面基底 上制得微纳结构。本发明装置易于加工，操作方便，使用方法简单，能够满足在不同口径、 不同曲率半径球面基底上实施软光刻技术的要求。